در بیضی سنجی، زاویه تابش برابر با زاویه بازتاب است. نور با قطبش موازی یا عمود بر صفحه تابش (صفحه تابش عمود بر نمونه است) به ترتیب نور قطبیده p و sنامیده می شود (شکل 2). دو تابش تقویت شده s و p بعد از بازتاب از سطح به حالت اولیه خود بر می گردند که به ترتیب دارای دامنه های rs و rp هستند و نسبت rp به rs بر اساس معادله زیر اندازه گیری می شود.
شکل 2- نمایش صفحه تابش، نور با قطبش p و s. صفحه تابش شامل پرتو فرودی و بردار عمود بر سطح نمونه و پرتو بازتاب شده است. نور با قطبش p موازی صفحه تابش و نور با قطبش sعمود بر صفحه تابش است.
در بیضی سنجی برای هر طول موج طیف، حداقل دو کمیت اندازه گیری می شود و در این روش نسبت شدت ها به جای شدت اندازه گیری می شود. بنابراین این روش کم تر تحت تأثیر شرایط محیط، تغییر شدت نور منبع است. بیضی سنجی بی نیاز از اندازه گیری مرجع است.
از جمله مدل هایی که برای محاسبه توابع دی الکتریک در بیضی سنجی به کار گرفته می شود، مدل نوسانی لورنتس (Lorentz Oscillator Model) است. معادله سلمیر (Sellmeier) که در محاسبه توابع دی الکتریک در مواد عایق استفاده می شود، و معادله کوشی (Cauchy Equation) نیز مدل های دیگری هستند. مدل درود (Drude) نیز در مورد فلزات به کار گرفته می شود. برای محاسبه توابع دی الکتریک در مواد بی شکل از معادله Tauc-Lorentz و در مواد بلوری از تئوری محیط موثر (Effective Medium Theory) استفاده می شود.
P=rp / rs =tan(ψ) e[SUP]iΔ[/SUP]
P تغییرات قطبش، (tan(ψ نسبت دامنه بازتاب است که نسبت تغییرات برای نور با قطبش s و p را نشان می دهد وΔ بیانگر جابه جایی نسبی فاز است که در بیضی سنجی این دو کمیت ((tan(ψو Δ ) اندازه گیری می شود. rp بیانگر مولفه نوسانی در صفحه فرود و rs مولفه نوسانی عمود بر صفحه فرود است (شکل 2). با توجه به این نسبت دو مقدار اندازه گیری می شود. بیضی سنجی روشی دقیق و تکرارپذیر است. بیضی سنجی به پخش نور حساس نیست و در آن نیازی به نمونه مرجع برای تصحیح روش وجود ندارد. در نمونه هایی که لایه از نظر نوری کاملا یکنواخت، همگن و همسانگرد باشد، با استفاده از داده های ψ و Δ به طور مستقیم می توان خواص مواد را به دست آورد. اما در نمونه های پیچیده تر، با در نظر گرفتن ثابت های نور مانند تابع دی الکتریک یا ضریب شکست و پارامترهای ضخامتِ هر یک از لایه ها بایستی یک مدل طراحی شود.شکل 2- نمایش صفحه تابش، نور با قطبش p و s. صفحه تابش شامل پرتو فرودی و بردار عمود بر سطح نمونه و پرتو بازتاب شده است. نور با قطبش p موازی صفحه تابش و نور با قطبش sعمود بر صفحه تابش است.
در بیضی سنجی برای هر طول موج طیف، حداقل دو کمیت اندازه گیری می شود و در این روش نسبت شدت ها به جای شدت اندازه گیری می شود. بنابراین این روش کم تر تحت تأثیر شرایط محیط، تغییر شدت نور منبع است. بیضی سنجی بی نیاز از اندازه گیری مرجع است.
از جمله مدل هایی که برای محاسبه توابع دی الکتریک در بیضی سنجی به کار گرفته می شود، مدل نوسانی لورنتس (Lorentz Oscillator Model) است. معادله سلمیر (Sellmeier) که در محاسبه توابع دی الکتریک در مواد عایق استفاده می شود، و معادله کوشی (Cauchy Equation) نیز مدل های دیگری هستند. مدل درود (Drude) نیز در مورد فلزات به کار گرفته می شود. برای محاسبه توابع دی الکتریک در مواد بی شکل از معادله Tauc-Lorentz و در مواد بلوری از تئوری محیط موثر (Effective Medium Theory) استفاده می شود.