cvd=chemical vapor deposition
pvd=physical vapor deposition
روش شیمایی زیر مجموعه روش فیزیکی است و مزیت های زیادی دارد مانند :
1- قابلیت تولید مواد خالص و با چگالی زیاد
2- تولید فیلم های یکنواخت
3- cvd یک پروسه غیر جهت دار است که میتواند برای پوشش فیلم های غیر یکنواخت با ساختار پیچیده به کار...