اساس لپینگ وصیقل کاری-Lapping and Polishing Basics

[مجتبی ورشاوی]

Lapping and Polishing
Basics
اساس لپینگ وصیقل کاری
Report 54
1.0: Introduction
: مقدمه
Lapping and polishing is a process by which material is precisely removed from a workpiece or specimen
لپینگ و پرداخت فرایندی است که دقیقا با موادی انجام می شود که از قطعه کار یا نمونه برای تولید برداشته شده است
to produce adesired dimension, surface finish, or shape
تا ابعاد مورد نظر وفنیش کاری شده تولید نماید.
. The process of lapping and polishing materials has been applied to a widerange of materials and applications,
روند لپینگ وصیقل کاری طیف وسیعی از مواد و برنامه های کاربردی را فرا میگیرد.
ranging from metals, glasses, optics, semiconductors, and ceramics.
طیفی اعم از فلزات ، شیشه ، اپتیک ، نیمه هادی ها ، و سرامیک.
Lapping andpolishing techniques are beneficial due to the precision and control with which material can be removed.
لپینگ و روش پرداخت سودمند هستند به علت دقت و کنترلی که با آن مواد می تواند برداشته شود
Surface finishesin the nanometer range can also be produced using these techniques, which makes lapping and polishing an attractivemethod for materials processing.
سطوح در سطح نانو متری فنیش میشوند همچنین با استفاده از این تکنیک می توان لپینگ وصیقل کاری را به یک جذابیت در پروسه تولید مواد تبدیل ساخت.
This paper describes some basics about lapping, including equipment setup, typical lapping techniques, andnomenclature.
این مقاله بعضی از اصول در مورد لپینگ، از جمله راه اندازی تجهیزات ، تکنیک های لپینگ معمولی ، و
فهرست واژهها و اصطلاحات این علم را بیان میکند.

2.0: Back to Basics
2.0 : بازگشت به اصول

There are several techniques used for removing material from a particular workpiece also called specimen in thisdiscussion.
چندین تکنیک مورد استفاده برای از بین بردن مواد از قطعه کار خاص وجود دارد در این نمونه نیز نامیده می شود.
)Grinding, lapping, polishing, and CMP )chem.-mechanical polishing( are all techniques used for precise
removal of material.
سنگزنی ، لپینگ ، پرداخت ، و CMP (chem. - مکانیکی پرداخت) همه تکنیک های مورد استفاده برای حذف دقیق مواد هستند.
A brief discussion of terms is needed to understand the basics of what is being referred to when
these topics are discussed.
. بحث مختصری از شرایط مورد نیاز است تابه درک اصول اولیه برسیم که به هنگام مراجعه این موضوع بحث شده است.

 

[مجتبی ورشاوی]

2.1: Grinding
1 : سنگزنی
Grinding can be defined as the rapid removal of material from a sample either to reduce it to a suitable size or toremove large irregularities from the surface.
سنگ زنی می تواند به عنوان حذف سریع مواد از نمونه تعریف شده یا آن را کاهش دهد به اندازه مناسب و یا به حذف بی نظمی بزرگ از سطح بپردازد.
The grinding wheel or plate typically rotates at a high speed )around 200-1000rpm( and a coarse, bonded abrasive(> 40 µm) is used.
چرخ سنگ یا بشقاب معمولا در سرعت بالا (حدود 200 چرخد -- 1000rpm) و درشت ، پیوند ساینده (> 40 میکرومتر) استفاده می شود.
Grinding is quick and relatively easy process but can cause deep subsurface damage in delicate materials.
سنگزنی یک روند سریع و نسبتا آسان است اما می تواند باعث آسیب زیرسطحی در عمق مواد حساس شود.
Typically grinding is applied to hard metals such as high carbonsteels where rapid removal is essential and subsurface damage is not a critical parameter.
به طور معمول سنگ زنی برای فلزات سخت مانند کربن بالا که در آن حذف سریع ضروری است و آسیب زیرسطحی پارامتر بحرانی نیست استفاده میشود.
For delicate materials thegrinding process must be a balance of material removal and subsurface damage.
برای مواد حساس فرایند سنگ زنی باید با توازن حذف مواد و آسیبهای زیرسطحی انجام شود.
In many cases it is advisable toinitially cut the specimen with a gentle mechanical method such as a wire saw.
در بسیاری از موارد بهتر است در ابتدا نمونه با استفاده از روش ملایم تر مکانیکی از قبیل وایر ساوآماده شود.
A properly prepared wire saw cutsample can eliminate the grinding process altogether.
وایر ساوی که به درستی انجام شده می تواند آسیاب در فرایند در کل سنگ زنی از بین ببرد.
2.2: Lapping
2.2 : Lapping
Lapping is the removal of material to produce a smooth, flat, unpolished surface.
لپینگ حذف مواد برای تولید یک سطح صاف و مسطح ، است.
Lapping processes are used to produce dimensionally accurate specimens to high tolerances )generally less than 2.5 µm uniformity.
فرآیندهای لپینگ استفاده می شود برای تولید نمونه های با دقیق ابعادی بالا (معمولا کمتر از 2.5 میکرومتر یکنواختی).
The lapping plate will rotate at a low speed (<80 rpm) and a mid-range abrasive particle (5-20µm) is typically used.
ورق لپینگ در سرعت پایین (<80 دور در دقیقه) و در اواسط محدوده ذرات ساینده (5 - 20μm) می چرخد (به طور معمول ).
Lapping removes subsurface damage caused by sawing or grinding and produces the required thickness and flatness.
لپینگ باحذف خسارت زیرسطحی ناشی از برش و یا سنگ به تولید ضخامت مورد نیاز و صافی مورد نظر می پردازد.
Although the lapping process is less damaging than grinding, there are two regimes of lapping: free abrasive lapping and fixed abrasive lapping.
اگر چه روند لپینگ کمتر از سنگ صدمه می زندن ، دو رژیم از لپینگ وجود دارد: یکی لپینگ با سایندگی آزاد ودومی لپینگ با سایندگی فیکس

Free Abrasive Lapping is when abrasive slurry is applied directly to a lapping plate (e.g. cast iron). This is perhaps the most accurate method for producing specimens and causes the least amount of damage.
لپینگ با خاصیت سایندگی آزاد وقتی است که دوغاب ساینده مستقیما به صفحه لپینگ (به عنوان مثال چدن اعمال شده است) شاید این است
دقیق ترین روش برای تولید نمونه است و باعث می شود که آسیب به حداقل برسد.
Free abrasive lapping is accurate because of the rigid lapping surface which can be tailored to suit a particular material.
لپینگ با خاصیت سایندگی بالادقیق است به خاطراینکه سطح لپینگ سفت و می تواند متناسب با توجه به مواد خاص تنظیم شود.
Fixed Abrasive Lapping is when an abrasive particle in bonded to a substrate as with abrasive lapping films and sic papers.
لپینگ با سایندگی ثابت وقتی است که ذرات ساینده به عنوان جزی در باند با فیلم لپینگ ساینده و سیک قراردارد
Abrasive lapping films have various particles bonded to a thin, uniform polyester substrate and are also capable of producing a very flat surface.
فیلم ساینده لپینگ دارای ذرات مختلف متصل است ، پلی استر یکنواخت بسترش را می پوشاند و همچنین قادر به تولید سطح بسیار صاف است.
Sic papers are much thicker than the film and create the potential for rounded edges on the sample.

کاغذ واره ی سیک بسیار ضخیم تر از فیلم است و پتانسیل برای لبه های گرد در نمونه ایجاد می نماید

 

[مجتبی ورشاوی]

2.3: Polishing
2.3 : پرداخت
Polishing is the removal of material to produce a scratch-free, specular surface using fine (3µm(abrasive particles.
پرداخت عبارتست ازحذف مواد برای تولید سطح بدون خش و اینه ای، با استفاده از ذرات ساینده باسپکولوم خوب (<3μm) است.
Polishing is typically done at very low speeds using either polishing cloths, abrasive films, or specially designed lapping plates.
پرداخت معمولا در سرعت های بسیار کم انجام می پذیرد با استفاده از پرداخت پارچه ، فیلم ساینده ، و یا طراحی لپینگ پلیت.
Polishing with a cloth or lapping plate requires the use of free abrasive, and is a very low damage process when performed properly.
پرداخت با پارچه یا لپینگ صفحه نیاز به استفاده از ساینده آزاد دارد ، و بسیار کم آسیب می رساند وقتی به درستی انجام شود.
Plate material and cloth material are critical when polishing a particular sample as the properties of
these substrates are important in the final polish quality of the specimen.
مواد پلیت و پارچه حیاتی هستند زمانی که پرداخت یک نمونه خاص از نظرخواص و کیفیت نهایی مهم باشد.
Polishing with a lapping plate is a common process used in the case of metals and hard ceramic type materials.
پرداخت با بشقاب لپینگ یک روند معمول مورد استفاده در مورد فلزات و مواد سخت از نوع سرامیک می باشد.
Polishing using copper composite plates or tin / lead lapping plates can produce high quality surface finishes with high removal rates.
پرداخت با استفاده از ورق کامپوزیت مس یا قلع / درصفحات لپینگ می توانند پس از اتمام یک سطح با کیفیت سطح بالا تولید نماید.
In many cases the use of a polishing cloth is required, and thus the selection of a proper polishing cloth
is important.
در بسیاری از موارد استفاده از پارچه پرداخت مورد نیاز است ، و به این ترتیب انتخاب پارچه مناسب پرداخت مهم است.
Polishing cloth properties needed depend on the application.
خواص پرداخت پارچه مورد نیاز بستگی به کاربردآن دارد.
If flatness is of primary concern, short nap cloths )such as Nylon( are used to maintain flatness.
اگر نگرانی از صافی آن وجود دارد ، برای حفظ صافی از پارچه خواب کوتاه (مانند نایلون) استفاده می شود.
When the final surface finish is of primary concern, longer napped cloths (such as Rayon and Silk( are used.
هنگامی که تمام سطح نهایی است ، ، دیگر خواب پارچه (مانند ابریشم مصنوعی و ابریشم) استفاده می شود.
Many cloth materials today combine the best of both worlds, allowing flatness and surface finish combined to provide maximum performance.
مواد پارچه امروزه بسیاری از بهترین ترکیب ها را فراهم میکند،و صافی سطح و ترکیب فنیش باحداکثر کارایی را ارائه می دهد.
Polyurethane pads are commonly used forfinal polishing processes and produce excellent flatness and surface finish.
نوار پلی اورتان معمولا مورد استفاده برای مراحل پرداخت نهایی و تولید صافی سطح عالی و تمام قرار دارند.
Polishing with abrasive films also produces excellent results.
پرداخت با فیلم های ساینده نیز تولید نتایج قوی و کاربردی دارند.
The flatness of the films combined with high removalrates makes them an attractive alternative to cloth and plate polishing methods.
صافی فیلم همراه با سایندگی بالا , آنها را جذاب برای جایگزین با پارچه و صفحة روش پرداخت نموده است.


2.4: Chem-mechanical Polishing )CMP(
2.4 : پولیش شیمی مکانیک (CMP)
Chem-mechanical polishing )CMP( is a technique that combines both chemical and mechanical polishing principles to achieve uniform removal rates of a highly composite specimen (such as integrated circuit device fabrication.
پرداخت شیمی مکانیک (CMP) ترکیبی از هر دو روش شیمیایی و مکانیکی است که برداشت لایه های کامپوزیت رافراهم میکند (مانند ساخت مدار مجتمع).
) CMP is typically done using a hard polyurethane polishing pad combined with a slurry of finely dispersed alumina or silica particles in an alkaline solution.
سی ام پی به طور معمول با استفاده از پلی اورتان سخت در پولیش همراه با دوغاب از آلومینیوم (آلومینا) بطور عالی انجام می شود( با ذرات سیلیس در محلول قلیایی).
CMP combines the selectivity of chemical polishing with the mechanical removal properties of standard mechanical polishing techniques.
سی پی ام ترکیبی از پرداخت شیمیایی و با حذف خواص استاندارد روش پرداخت مکانیکی است.
The two combined give excellent selectivity and planarity and can be tailored to many different materials.
2 ترکیب انتخابی کیفیت سطح بسیار عالی را برای طیفی وسیعی از موادرا فراهم میکند

2.5: Abrasive Types
2.5 : انواع مواد ساینده
There is a wide selection of abrasives to choose from when selecting a lapping and polishing process.
در هنگام لپینگ و تأیین روند پرداخت امکان انتخاب گسترده ای از مواد ساینده برای استفاده وجود دارد.
Selecting an abrasive is dependent upon the specimen hardness, desired surface finish, desired removal rate, lifetime, and price.
انتخاب ساینده وابسته به سختی نمونه مورد نظر کیفیت پرداخت سطح ، نرخ براده، طول عمر ، و قیمت می باشد.
There are four basic types of abrasives that are used in lapping and polishing processes: silicon carbide )SiC(aluminum oxide or alumina )Al2O3( boron carbide )B4C( and diamond (C( All of these abrasives have distinct properties and are used for different materials and applications.
چهار نوع اصلی از مواد ساینده هستند که در لپینگ و فرآیندهای پرداخت مورد استفاده قرار میگیرند: کاربید سیلیکون ، اکسید آلومینیوم یا آلومینیوم (آلومینا) (Al2O3) ، کاربید بور (B4C) و الماس (ج). همه این مواد ساینده باخواص ومشخصاتی متفاوت برای مواد مختلف و برنامه های کاربردی متنوع استفاده می شود.
SiC: SiC is hard and generally has a needle or blocky structure.
SiC is used in many applications whererough lapping is required.
It seldom is used for polishing or applications that require smooth surface finishes.
کاربید سیلسیوم : سخت است و به طور کلی ساختار وبافت سوزنی و یا ساختار بلوری دارد. چنین است که در کاربردهای بسیار زیادی استفاده می شود که در آن لپینگ خشن مورد نیاز است. این به ندرت برای پرداخت یا برنامه های کاربردی که نیاز به سطح پرداخت صاف دارد استفاده می شود
Al2O3: Al2O3 is relatively hard and has a sharp, angular structure. Alumina is commonly used where fine surface finishes are required as it breaks down over time and gives excellent surfaces during lapping
and polishing. Alumina is also relatively inexpensive.
Al2O3 : اکسید آلومنیوم نسبتا سخت و تیز است، ساختار زاویهای دارد. آلومینا معمولا درجایی استفاده می شود که در آن پرداخت سطح زیاد در طول زمان مورد نیاز است و سطوح عالی لپینگ و پرداخت ایجاد میکند. آلومینا نیز نسبتا ارزان است.
B4C: B4C is harder than most other abrasives )excluding diamond( and has a blocky crystal structure. B4Cprovides excellent removal rates and is typically used when fast removal with moderate surface quality is needed.
B4C : B4C از بسیاری دیگر مواد ساینده سخت تر است (به استثنای الماس) و ساختار بلوری متمایز دارد. B4C میزان حذف براده را عالی فراهم می کندو معمولا هنگامی استفاده شود که حذف سریع با کیفیت سطح متوسط مورد نیاز است.
Diamond: Diamond is the hardest material known and has a sharp, angular structure. Diamond is extremely useful in lapping and polishing due to it’s removal rates and surface finishing qualities. Diamond can produce excellent surface finishes combined with high removal rates.
الماس : الماس سخت ترین ماده شناخته شده است و نوک تیزاست ، ساختار زاویهای. الماس فوق العاده در لپینگ مفید است و پرداخت به دلیل میزان حذف و اتمام سطح کیفیت. الماس می تواند سطح عالی همراه با ریت بالاتولید کند.

جدول : نوع ماده ساینده- سختی- دانسیته-ساختار
3.0: Lapping and Polishing Equipment
3.0 : تجهیزات لپینگ و پرداخت
Equipment used for lapping and polishing can vary from application. Typically what is required for lapping and polishing are the following:
تجهیزات مورد استفاده برای لپینگ و پرداخت می توانند فرم های متفاوت داشته باشد. به طور معمول آنچه که برای لپینگ و پرداخت مورد نیاز
به شرح زیر است :
1. A lapping and polishing machine with variable speed.
1. lapping و پولیش ماشین با سرعت متغیر.
2. A polishing jig for holding specimens precisely.
2. پرداخت با راهنما برای تولید نمونه دقیق.
3. Various lapping plates for different applications.
3. انواع ورق lapping برای برنامه های مختلف.
4. Workstations for controlling lapping fixtures and conditioning equipment.
4. ایستگاه کنترل lapping وسایل و تجهیزات تهویه.
5. Conditioning equipment for maintaining plate flatness.
5. تجهیزات تهویه برای حفظ صافی بشقاب.
There are various methods available to accomplish these tasks. South Bay Technology, Inc. Has developed a series of equipment designed for this purpose and is described below.
روش های مختلف برای تحقق این وظایف وجود دارد. جنوب ، خلیج فناوری شرکت توسعه داده است مجموعه ای از تجهیزات برای این منظور که در زیر توضیح داده شده.

3.1: Lapping and Polishing Machines

 

[مجتبی ورشاوی]

3.1 : ماشین لپینگ و پولیش
Lapping and polishing machines vary extensively depending upon the manufacturer.
SBT has designed a set of instruments that are specifically designed for universal lapping and polishing applications.
ماشین های لپینگ و پرداخت بسته به سازنده بصورت دستگاه های متفاوت و گسترده طراحی شده.
SBT طراحی کرده است مجموعه ای از ابزار ها که به طور خاص برای لپینگ جهانی و برنامه های کاربردی پرداخت طراحی شده است.
The Model 920 Lapping and Polishing Machine incorporates a precision spindle assembly housed in a solid cast aluminum casting to provide stable operation in any laboratory environment. Stability when lapping is critical in producing flat, precisely controlled tolerances on a given specimen.
مدل 920 ماشین لپینگ و پولیش دارای دقت مونتاژ و مستقر در ریخته آلومینیوم و جامد پایدار ارائه شده است با امکان عملیات درهر محیط آزمایشگاهی. وقتی در تولید تخت ثبات لپینگ حیاتی است ، دقیقا کنترل شده انجام می گیرد.
The motor is a high torque, variable speed motor that allows a wide range of speeds to be employed.
گشتاور بالای موتور با سرعت متغیر است که اجازه می دهد تا طیف گسترده ای از سرعت هابه استخدام درآیند.
Flexibility in speed control allows the instrument to be used as a grinding machine, high quality lapping
machine, or polishing machine.
انعطاف پذیری در کنترل سرعت اجازه می دهد تا ابزار به عنوان دستگاه سنگ ,ماشین لپینگ کیفیت بالاو دستگاه پرداخت مورد استفاده قرار گیرد .
During grinding high speeds are required, whereas lapping and polishing applications are generally completed at low speeds.
در طول سنگ زنی سرعت بالا ، لازم است در حالی که لپینگ و پرداخت معمولا به سرعت های پایین نیاز دارند.
The Model 920 also incorporates workstations, which allow for the use of precise Lapping and Polishing Fixtures.
مدل 920 نیز شامل ایستگاه های کاری است ، که برای استفاده از امکان لپینگ دقیق و پرداخت مقدماتی آماده شده است .
Each workstation has it’s own speed control, allowing the user to precisely rotate the lapping fixtures or the conditioning ring.
هر ایستگاه کاریبا کنترل سرعت خود، اجازه می دهد تا دقیقا کاربر چرخش ثابت لپینگ یا حلقه مطبوع را داشته باشد.
Lapping plates are held into place with three locating pins and are easily removable, allowing maximum flexibility in processing specimens.
صفحات لپینگ به محل با 3 سوزن متصل میشود و به راحتی قابلیت جداشدن و حداکثر انعطاف در نمونه را میدهد.
Various materials can be selected for the lapping plates, ranging from aluminum, cast iron, and glass.
Below is an image showing the Model 920 with a typical setup for lapping.
مواد مختلف می تواند برای بشقاب لپینگ انتخاب شود، اعم از آلومینیوم ، چدن ، و شیشه.
در زیر تصویر نمایش مدل 920 با نصب معمولی lapping است.
تصویر : مدل 920 ماشین لپینگ وصیقل کاری
3.2: Lapping and Polishing Fixtures
3.2 : فیکسچرهای لپینگ و پرداخت
Lapping and Polishing fixtures are perhaps the most critical part of any lapping and polishing system. The lapping fixture is what holds the specimen during processing and ultimately will determine the final specimen quality.
فیکسچر لپینگ و پرداخت شاید حیاتی ترین بخش هر سیستم لپینگ و پرداخت باشد.آنچه لپینگ را ثابت نگه می دارد همان فیکسچر است که در نمونه پردازش خواهد شد و در نهایت کیفیت نمونه نهایی را تعیین می کند.
South Bay Technology has been a leader in the manufacture of precision lapping fixtures for any application. In general, the fixture typically performs like a piston, with a housing used for support of a dynamically sliding piston assembly.
فناوری جنوب خلیج رهبر شده است در ساخت با دقت فیکسچر لپینگ برای هر برنامه. به طور کلی فیکسچر مانند پیستون انجام وظیفه میکند، با استفاده از محلی ثابت برای حمایت از مونتاژ پیستون کشویی به صورت پویا.
Specimens are attached to the base of the piston using vacuum mounting or wax mounting techniques. The piston movement is controlled with a precision dial micrometer at the top of the fixture, and thus allows the precise removal of material in various increments determined by the user.
نمونه ها به پایه پیستون متصل شده با استفاده از خلاء یا موم نصب تکنیک.
جنبش پیستون کنترل شده است با دقت شمارش میکرومتری ، و در نتیجه اجازه می دهد تا حذف دقیق مواد مختلف در میزان سود تعیین شده توسط کاربر.
The base of the housing contains a wear resistant ring that supports the fixture, controls the flatness and parallelism of the specimen, and gives stability to the fixture.
Below is a basic image of a typical lapping and polishing fixture.

پایه ثبات شامل حلقه مقاوم به سایش است که فیکسچر را پشتیبانی میکند ، کنترل صافی و توازی نمونه ، و همچنین ثبات رابه آن می بخشد.
تصویر زیر تصویراولیه lapping معمولی و فیکسچر پرداخت می باشد.


3.3: Lapping and Polishing Plates
3.3 : ورق لپینگ و پرداخت
Lapping and polishing processes are performed on a hard, metal plate used in conjunction with abrasive
suspensions such as diamond, silicon carbide )SiC( aluminum oxide )Al2O3( or boron carbide )B4C( The metal lapping plate selected depends upon the desired material removal rate, the surface finish desired, the hardness of thespecimen being lapped, and the flatness requirement.
لپینگ و فرآیندهای پرداخت بر روی یک بشقاب فلزی سخت ، مورد استفاده در رابطه با انجام ساینده سوسپانسیونی از قبیل الماس ، کاربید سیلیکون (چنین) ، اکسید آلومینیوم (Al2O3) ، و یا کاربید بور (B4C) انجام می شود. انتخاب فلز صفحه لپینگ بستگی به میزان مورد نظر حذف مواد ، تمام سطح مورد نظر ، سختی نمونه بودن ، و نیاز صافی دارد.
Plate selection can play a critical role in the production of high quality specimens. Lapping plates can be flat or grooved depending upon the desired application. Grooved plates provide greater removal rates and prevent the abrasive from squeezing out from between the plate and the specimen.
Examples of some types are given below:
انتخاب پلیت می تواند نقش مهمی در تولید نمونه های با کیفیت بالا بازی کند. صفحات لپینگ را می تواند صاف یا شیار داربسته وبه کاربرد. صفحات شیار دارارائه امتیازات بیشتر و جلوگیری از حذف ساینده در نتیجه فشار خارجی رادارد.
نمونه هایی از بعضی از انواع داده شده در زیر :
Cast Iron (Fe( Cast iron lapping plates are used for rough lapping and stock removal of materials. Specimens around 8-10 on the Mohs Hardness Scale can be lapped using cast iron plates. Cast iron
Produces a gray surface finish and provides high removal rates.
آهن ریخته (آهن) صفحات چدنی برای لپینگ خشن و حذف نا همواری از مواد استفاده می شود. نمونه حدود 80-10 در مقیاس سختی موس را می توان با استفاده از ورق آهن ریخته لپ کرد. چدن سطح پرداخت شده و میزان براده برداری بالا تولید وفراهم می کند.
Composites: Composite plates are used for rough lapping and stock removal of materials. Specimens of 7-10 on Mohs Hardness Scale can be lapped on composite plates. These plates produce medium
quality surface finishes with very high removal rates.
کامپوزیت : کامپوزیت صفحات برای لپ خشن و حذف سهام از مواد استفاده می شود. نمونه از 70-10 در مقیاس سختی موس را می توان در صفحات کامپوزیت فراهم کرد. این صفحات کیفیت سطح متوسط با براده بالا را فراهم می کند.

Copper )Cu( Copper plates are used for both rough and fine lapping of materials. Specimens around 9-5 on the Mohs Hardness Scale can be lapped using copper plates. They provide high quality surface
finishes with intermediate removal rates.
مس (مس) : صفحات مس برای هر دو فرایندخشن و فنیش کاری لپ استفاده می شود. نمونه ها در اطراف 5-9سختی موس را می توان با استفاده از صفحات مس لپ کرد. آنها کیفیت سطح بالا ارائه می دهند.
Tin/Lead )Sn/Pb( Tin lead plates are used for fine lapping and polishing of materials. Specimens around 2-4 on Mohs Hardness Scale are lapped with tin lead plates. They provide high quality surface finishes
with low removal rates.
قلع / سرب (قلع / سرب) : ورق قلع سرب برای لپ پرداخت وصیقل استفاده می شود . نمونه ها در اطراف 2-4 در مقیاس سختی موس با ورق قلع فراهم می شود. آنها ارائه کیفیت سطح بالا در فنیش کاری را می دهند با نرخ حذف کم.
Polishing can also be carried out using a polishing cloth attached to a substrate plate (either glass or aluminum typically) using aluminum oxide, colloidal silica, or diamond suspensions.
پرداخت همچنین انجام می شود با استفاده از پارچه پرداخت متصل به صفحه سوبسترا (یا شیشه ای یا آلومینیومی به طور نمونه) با استفاده از اکسید آلومینیم ، سیلیس ، سوسپانسیونی یا الماس..
Use of polishing cloths can be advantageous due to the high quality surface finish they produce.
استفاده از پارچه پرداخت می تواند سطح با کیفیت پرداخت بالا تولید کند
However, it must be noted that for extended polishing times the use of a cloth will sometimes lead to wavy surfaces and edge turning, which can be detrimental to the specimen quality.
با این حال ، باید اشاره کرد که برای تمدید زمان پرداخت با استفاده از پارچه ,گاه منجر به سطوح مواج است که می تواند برای کیفیت نمونه زیان آور باشد.
Proper selection of polishing cloths and process times is key in the successful use of a cloth for
final polishing of specimens.
انتخاب مناسب از پرداخت پارچه و زمان فرایند کلید استفاده موفق از پارچه برای پرداخت نهایی نمونه است.
3.4: Plate Conditioning
3.4 : سلامت پلیت
Plate conditioning is a process by which the lapping plate surface is machined to maintain the flatness of the lapping plate and to “pre-condition” the lapping plate surface with the abrasive being used for the lapping process.
بهبود پلیت روندی است که از طریق آن سطح لپینگ ورق ما شین کاری می شود تا به صافی لازم بشقاب لپینگ برسد و "پیش شرط"لپینگ سطح بشقاب با ساینده که برای روندلپینگ استفاده می شود.
Plate conditioning is important for lapping applications where flatness and parallelism of the specimen is critical.
بهبود پلیت مهم است برای لپ هایی که در آن صافی و موازی سازی نمونه حیاتی است.
Specimen quality is a direct result of plate condition, and therefore proper maintenance of the lapping plate is crucial in preparing high quality specimens.
کیفیت نمونه نتیجه مستقیم شرایط بشقاب است ، و به همین دلیل در آماده سازی نمونه با کیفیت بالا نگهداری مناسب بشقاب حیاتی است.
Conditioning of the lapping plate is affected by two primary parameters: a) position of the conditioning ring, and b)weight of the conditioning ring. The conditioning ring is generally a cast iron or stainless steel ring used with the abrasive desired or with diamond plated to the bottom of the ring. Conditioning of the lapping plate also helps maintain high removal rates during long lapping operations.
بهبود شرایط بشقاب توسط دو پارامتر اصلی : موقعیت حلقه بهبود کیفیت ، و تحت تاثیر ب) وزن حلقه قرار دارد. حلقه معمولا از چدن یا فولاد ضد زنگ استفاده ساخته می شود, حلقه با ساینده مورد نظر یا با روکش الماس به انتهای حلقه. بهبود بشقاب به حفظ میزان حذف بالابراده در جریان عملیات طولانی کمک می کند.


شماتیک فرایند بهبود مورد استفاده در مدل920

3.4.1: Conditioning Basics
Proper positioning of the conditioning ring can help bring a plate back into flatness if the plate has become ‘out of
flat’. Often times the plate will resemble a wavy shape due to the positioning of lapping and polishing fixture inside
the radius of the lapping plate. If the lapping plate has become concave in shape, then the conditioning ring should
be adjusted to the outer diameter of the plate. The extra work done on the lapping plate will then bring the plate
back into flatness in a short time, provided the plate is not severely out of flat by more than 0.003” (75 µm). If the
plate shape is convex, the conditioning ring should be positioned on the inner portion of the plate. Below are
examples of this process.


Figure 4: Schematic illustration of the conditioning process. The initial plate shape is a concave shape.
Positioning the conditioning ring on the outer diameter of the plate will cause the highest point of the
plate to be lapped faster than the inner portion, creating a flat plate surface.

Figure 5: Schematic illustration of the conditioning process for the convex plate case. Positioning the
conditioning ring to the inner portion of the plate will cause the high spot in the center to be lapped
faster than the outer diameter, creating a flat plate surface.

Figure 6: Schematic illustration showing a two step conditioning process. The top figure shows a plate with a
wavy surface due to a small lapping fixture being used without a conditioning ring. The initial
conditioning is completed with the conditioning ring on the outer diameter of the plate. Once the outer
portion of the plate has been lapped down, the conditioning ring is moved to the center of the plate to
lap it flat.
The line of SBT precision lapping and polishing equipment can be used for a wide range of lapping and polishing
applications where precise, high quality specimens are required. Use of the Model 920 Lapping Machine combined with
the SBT series of Precision Lapping and Polishing Fixtures enables the user to closely control the lapping process and
create excellent specimens.
From MEMS wafer planarization to the edge polishing of electro-optical waveguides, SBT has a complete solution to fit
any applications need.



Via Callejon • San Clemente, CA 92673 USA
Voice: 949.492.2600 • Fax: 949.492.1499 • Sales: 800.728.2233
Email: sbt@southbaytech.com • Visit us at: www.southbaytech.com

3.4.1 : مبانی تهویه
موقعیت مناسب از حلقه تهویه می تواند کمک را ورق دوباره به صافی اگر بشقاب تبدیل شده است 'از
صاف. اغلب زمان محلی شما با ورق خواهد شبیه به شکل موج به علت موقعیت lapping و پرداخت ثابت در داخل
شعاع صفحه lapping. اگر بشقاب مقعر lapping تبدیل شده است در شکل ، سپس حلقه تهویه باید
به قطر خارجی صفحه تنظیم کرده است. کار اضافی بر روی بشقاب lapping انجام خواهد آورد و سپس صفحه
بازگشت به صافی در کوتاه مدت ، ارائه ورق به شدت از تخت بیش از 0.003 نیست "(75 میکرومتر). اگر
شکل بشقاب است محدب ، حلقه تهویه باید در قسمت داخلی صفحه را می چرخاند. در زیر
نمونه هایی از این روند.


شکل 4 : تصویر شماتیک از فرآیند تهویه. شکل بشقاب اولیه شکل مقعر است.
موقعیت حلقه شرطی در قطر بیرونی ورق خواهد بالاترین نقطه از علت
بشقاب به lapped سریع تر از بخش درونی ، ایجاد سطح بشقاب تخت می باشد.

شکل 5 : تصویر شماتیک از فرآیند شرطی برای مورد بشقاب محدب. موقعیت
حلقه تهویه به بخش داخلی صفحه را نقطه بالا در مرکز باعث می شود lapped
سریع تر از قطر خارجی ، ایجاد سطح بشقاب تخت می باشد.

شکل 6 : تصویر شماتیک نشان دادن 2 مرحله فرآیند تهویه. شکل بالا نشان می دهد با ورق
سطح مواج به علت ثابت lapping کوچک که بدون حلقه مطبوع استفاده می شود. اولیه
تهویه مطبوع با حلقه در قطر خارجی صفحه کامل. هنگامی که بیرونی
بخشی از صفحه است lapped کردن ، حلقه مطبوع است به مرکز صفحه به نقل مکان کرد
دامان آن تخت می باشد.
خط دقت SBT lapping و تجهیزات صیقل می تواند برای طیف گسترده ای از lapping و پرداخت استفاده می شود
برنامه های کاربردی که در آن دقیق ، نمونه های با کیفیت بالا مورد نیاز است. استفاده از مدل 920 Lapping ماشین همراه با
سری SBT از دقت Lapping و فیکسچر پرداخت را قادر می سازد تا کاربر از نزدیک شاهد روند و lapping
ایجاد نمونه عالی است.
از MEMS planarization شیرینی پنجرهای به پرداخت لبه از موجبرهای الکترو نوری ، SBT ، یک راه حل کامل برای تناسب
هیچکدام از برنامه های کاربردی نیاز دارند.



از طریق Callejon • سان کلمنته ، کالیفرنیا ایالات متحده آمریکا 92،673
صوت خبرنگاری : • 949.492.2600 نمابر : 949.492.1499 • فروش : 800.728.2233
پست الکترونیک : • sbt@southbaytech.com ما دفعات مشاهده شده در : www.southbaytech.com